Allalin 快速定量阴极发光CL-SEM系统

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阴极发光分析系统

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产品描述

名称：Allalin 快速定量阴极发光CL-SEM系统

Allalin是一种纳米分辨率光谱仪器，基于一种被称为定量阴极发光的突破性技术，它将光学显微镜和扫描电子显微镜（SEM）集成到一个系统中。Allalin允许“不折不扣”的大视场/ 快速扫描同时获得扫描电镜成像与高光谱或全光谱CL图像。该系统的构建是为了在不牺牲扫描电镜（SEM）性能的前提下获得最佳的阴极发光性能：光学显微镜和扫描电镜的物镜被周密的整合在一起，使它们的焦平面相互匹配；光学显微镜以亚微米精度加工，与传统的CL技术相比，具有高数值孔径（N.A.0.71）的消色差、高数值孔径（N.A.0.71）检测，在大视场（高达300 µm）下具有优越的光子收集效率。因此，定量阴极发光，其中与仪器系统相关的组件所引入的误差可以从本质上被排除掉，这使阴极发光首次变的可信。

Allalin是为那些需要遵循严格的技术路径和快速获取非常精确的光谱信息而设计的，而这些信息是传统方法无法企及的。

在半导体故障分析、开发和研究中，Allalin的光谱测量能力为快速可靠的缺陷检测和定位提供了无与伦比的解决方案。经过验证的数据类型包括位错密度、材料成分波动、应变、掺杂剂类型和浓度的测量；以及其他广泛的应用。

在科学研究中，Allalin能够创建纳米分辨率的光谱图，这使得它成为深入了解纳米尺度材料物理特性的终极工具。

Allalin拥有一套全面的功能选项：覆盖紫外-红外波长范围的各种探测器选择、SE检测器、稳定的低温样品台和高灵敏度的EBIC（电子束感应电流）检测解决方案。

技术参数

电子光学系统	– 肖特基热场发射电子枪 – 电子束能量 1keV–10keV – 最小电子束斑尺寸: 3nm @10kV – 最佳工作距离 3mm – 高灵敏度SE检测器 – 可升级为皮秒脉冲激光电子枪（更多信息请参阅Chronos信息） – 探针电流: 30pA to 300nA
光学系统	– 视场可达 300µm – 集成光收集系统: 由朗伯体发射的光子有30%离开显微镜(在整个视场中是恒定的) – 消色差反射物镜从180nm 到 1.6µm– 数值孔径: NA 0.71 (f/0.5)
光检测	– 色散光谱仪，带有两个成像出口(320毫米焦距)和一个3光栅转台(Attolight提供大量衍射光栅，以匹配您的应用)，电动入口和出口狭缝用于紫外可见光(200 nm–1100 nm)测的高速CCD摄像机，最高速度>900光谱/秒 – 用于近红外(600 nm–1700 nm)检测的InGaAs摄像机最高速度>180光谱/秒 – 使用不同的探测器在200 nm–1700 nm范围内进行全色检测，最高速度>每像素50 ns
电子束感应电流(EBIC)	– 低噪音EBIC电路板 – 电流测量极限100fA – 增益10^4到10^15V/A – 带宽最大 100kHz
样品室与真空系统	– 无油真空泵组系统：用于电子枪和电子柱的吸气剂离子泵和用于样品室的涡轮分子泵 – 一般换样时间：20 min – 真空门上配有电子馈通
纳米定位平台	– 6自由度，可任意移动(与低温恒温器兼容） – 行程: 25mm (X,Y), 3mm (Z), 3° 倾斜(X,Y), 10° 旋转 (Z) – 步进: 1 nm – 整个行程范围内100 nm的重复性 – 坐标系统，便于精确定位和移动
低温恒温系统	– 温度范围从 10K 到室温，温度精度0.1 K – 先进的数字温度控制器 – 温度为10 K时，每小时漂移小于300nm
系统控制和检测模块	– 同时进行CL（高光谱或全光谱图谱）、SEM和EBIC检测 – 半自动操作模式 – 直观的基于触摸屏的图形用户界面（GUI），用于快速样品定位和移动以及实时数据显示，以检查测量状态 – 最大图像分辨率为4K，高光谱图谱的最大分辨率为512×512像素，电子束停留时间最小为每像素50 ns
数据分析	– Attolight提供了强大的分析和解决方案。更多信息请参考单独的Attomap手册。 – 工具配置和CL数据同时保存，以便于工具配置的再现 – 通过网络轻松访问受密码保护的测量数据 – 导出为开放数据格式，为用户选择首选的数据分析软件提供最大的灵活性
系统外形规格	– 占地面积：1219 mm（长）× 1039 mm（宽） – 推荐使用面积：2017 mm（长）× 2426 mm（宽） – 重量：~1110 kg